隨著傳感器及微加工技術(shù)的發(fā)展，人們可以在同一襯底材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結(jié)構(gòu)形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片上，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個敏感元器件的工作氛圍相同，容易實現(xiàn)補償和校正，這是多功能傳感器發(fā)展的一個方向；幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數(shù)，各敏感元器件是獨立的，如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起．構(gòu)成溫濕度多功能傳感器；用同一個敏感元器件的不同效應，得到不同的信息，如將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導率或介電常數(shù)物質(zhì)的作用下，表現(xiàn)出不同的電容和電感。

    同一個敏感元件在不同激勵下表現(xiàn)出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵電壓、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時可相竄于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。

    就近些年看來，多功能集成化傳感器研究受到國內(nèi)外的廣泛關(guān)注，國內(nèi)外文獻報道，已經(jīng)有用于環(huán)境監(jiān)測、化學分析、生物保護等方面的集成傳感器。隨著MEMS技術(shù)和比技術(shù)的不斷發(fā)展，實現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。